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第93章 光掩模制版（第1页）

令余子贤兴奋的是，在蔡俊杰的研究资料里面看见了光刻技术工序工艺中，与最重要工艺的电子束曝光系统对应的微米级掩模的制造。

听着好像有点绕口、难懂，但是要说这种微米掩模技术的先进性，还得从掩模技术的发展说起。

芯片的生产流程图简单来说要经过IC设计、制版、芯片加工，封装、测试包装几大环节，如果简单地打个比方来说，如果比喻成一本书的印刷的话，就是：写作、排版、印刷、装订、检验、打包。

而前面说的掩模对应书本印刷里面的排版，只要排好版了，对着版面印刷，才能印出一本整齐漂亮的书。同理，在芯片加工之前，需要将设计好的芯片版图进行制版，只有以此为模板，进行芯片制造光刻，才能制造出裸晶，再这些裸晶中检测挑选出好的，最后芯片进行封装，才算是一颗可用的芯片。

再往细了说，就是光刻工艺是芯片制造中最为重要的工艺步骤之一。主要作用是将掩膜板上的图形复制到硅片上，为下一步进行刻蚀或者离子注入工序做好准备。

在芯片制作过程的光刻工序，通常需要经过多次光刻工艺，在半导体晶体表面的介质层上开凿各种掺杂窗口、电极接触孔或在导电层上刻蚀金属互连图形。

而光刻工艺需要一整套（几块多至十几块）相互间能精确套准的、具有特定几何图形的光复印掩蔽模版，简称光掩模版。

光掩制造技术是随着平面工艺的诞生逐渐发展起来的。

在1963年共和国就已经研制成功了平面晶体管和硅数字集成电路。这时候就是沿用的传统的照相术，首先在铜板纸上喷涂一层黑漆，然后用手术刀人工刻图、截图，采用大型照相机照相制成掩模板。

等到七十年到，共和国从曰本引进一批聚酯红膜刻图机和可在超微粒干版上曝光的E线分步重复曝光机，才算是摆脱人工进入了机械制造光掩模的能力；而八十年代，掩模技术设备再次更新换代，在建立满足自身光学掩模生产所需的铬板的同时，又利用中美蜜月期，引进了一批高精度光学制版设备，包括可变光阑式图形发生器，还有与之配套的GCA公司的精缩机。此时共和国的掩模制版能力跨上了一个大台阶，也是光掩模技术制造业的鼎盛时期，最接近国际光掩模制造水平的高光时刻。

可喜随着进入90年代，国际进入亚微米集成电路和亚微米加工技术的实际应用，共和国的光刻技术以及光掩模技术再次到了设备高兴周期。

而此时，随着国际政治环境的变化，共和国引进之门被巴统禁运彻底关上。

蔡俊杰正开发的掩模技术直接影响着掩膜版的质量，而光掩模版的质量优劣不仅仅直接影响着光刻工艺的质量，还影响着半导体器件或集成电路的电学性能、可靠性和芯片成品率。

不如说佟若愚之前说的3微米工艺芯片的良率从59%有希望提高到70%以上，就是因为如此。

芯片成品率随着掩模版的缺陷密度的增大而按负指数关系急剧下降。据推算，若要达到95%以上的成品率，掩模版的缺陷密度必须控制在每平方厘米0.175个以下。如果缺陷密度增大到每平方厘米1.25个，则成品率因缺陷的直接影响会下降到65%以下。因此，根据佟若愚的说法，此时蔡俊杰的掩膜版技术应该是取得了突破。

而这个突破是余子贤非常看重的，就凭这个技术，这个厂子收购下来都值了，余子贤可不打算一直在3微米左右混。4英寸的晶圆最小可以加工1.2微米工艺的芯片。余子贤希望在收购回来的1-2年来达到这个标准。

共和国此时打算上马的908工程，因为各种原因，可是到98年才打到0.9微米的，国内其他合作项目也是在1995年才跨国1微米的门槛，进入到亚微米技术的。

只有领先才有饭吃，纵使做不了全球技术领先，但是可以引领国内技术的发展，为自己争取更多的话语权，这有这样，共和国电子工业才有崛起的希望！才能避免像前世一样，跟在别人后面一直在吃土！

想通这些之后，余子贤又给蒋月华打电话，告诉已经打算收购蔡氏晶圆厂的决定，让他那边可以启动尽职调查，还有贷款程序。

他得回内陆一趟，想想办法看能不能搜刮些钱，他实在不想抽干金拱门的流动资金啊，那都是本钱，会下崽的摇钱树啊！魔方智慧是更没有可能了，现在他的资金链刚持平，大计划当前，更加不敢乱动！

之后，又和蔡老板签了个收购协议。

到此时，余子贤才觉得自己可用的人手真是太少了，什么事情都得自己跑！

他现在有了一丝期待，不知道蒋月华什么时候从汇丰银行正式离职，到时候怎么都得想办法挖过来，金融这一块对方是专业，可以让自己少操多少心！

这边事情安排好之后，余子贤和郝萌又返回了羊城，准备做飞机返回燕京。

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可是当天的飞机直飞燕京的没有了。两三天之后倒是有，可是时间等不及啊！

今天已经是2月2号了，按照老爷子的计划，在8号左右好像有一个燕京全市表彰大会，非要余子贤去参加，说什么有惊喜之类的。

这还有五六天了，先把自己的事情办好，完了参加会议，春节前《看图猜成语》游戏又要上线，到时候自己也得参加，这都是一堆事情！

今天怎么都得走，不然事太多，时间来不及！

没办法，两人只好买了中转厦鹭市的机票。

郝萌这边的事情也算是告一段落了，现在回去可以在家过一个春节了。

余子贤有个不知道是好还是坏的习惯，每次坐火车或者做飞机的时候都要把自己排空放干净，不然总感觉在火车或者飞机上上厕所太麻烦不自在。

这次也不例外。余子贤让郝萌先上，他先在大厅上了个洗手间，等余子贤登机的时候，前面的人已经登机一半有余了。

排队安检，余子贤前面正好一个拎着密码箱的小伙子，看起来很烦躁的样子，神态有些慌张。余子贤没有在意，以为对方是不是身体有什么不舒服的。

这个小伙子也就20余岁，很年轻，身高1米7左右。一身西服，他一手拿着一束塑料制红玫瑰，看起来是个有情调的有钱人。

不过大家都顺利的通过安检，两人也依次顺序登机。

余子贤在登上飞机进入机舱门的刹那，突然一阵心悸，说不来的莫名烦躁，只当是等坐飞机的心底一丝恐惧，没有在乎。

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